微型機械加工技術發展現狀分析
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- 微型機械加工技術發展概況及分析
一、 微型機械加工技術概念及介紹
a) 微型機械加工技術是集微型機構，微型壓力傳感器，執行器和電源等與一體的一體化的微型器件或系統，是制作微型機械和微型裝置的微細加工技術。
b) 微機械是80年代后期發展起來的一門新興學科，隨著大規模集成電路中微細加工技術和超精密加工技術的發展，微機械近幾年來發展很快，部分已進入實用和商品化階段．微機械體積小、耗能低，能方便地進行精細操作，其主要應用領域有醫療、生物工程、信息、航空航天、半導體工業、軍事、汽車領域等，它已給國民經濟、人民生活和國防、軍事等帶來了深遠的影響，被列為21世紀關鍵技術之首，因此受到世界各國政府的高度重視。
二、 特點
a) 體積小、精度高、重量輕。其體積可達亞微米以下，尺寸精度達納米級，重量可至納克。已經制出了直徑細如發絲的齒輪、能開動的3mm大小的汽車和花生米大的飛機。最近有資料表明，科學家們已能在5平方毫米內放置1000臺微型發動機。
b) 性能穩定、可靠性高。由于微機械的體積小，幾乎不受熱膨脹、噪聲、撓曲等因素影響，具有較高的抗干擾性，可在較差的環境下進行穩定的工作。
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