高真空自動排氣臺系統
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- 高真空自動排氣臺系統概述
NSC-001自動排氣臺系統控制器,是為北京納諾帕技術中心研制的高真空自動排氣臺而設計制造的真空系統控制單元。通過使用OMRON的CPM1A型PLC可編程序控制器,對高真空排氣臺的真空排氣系統及加熱溫度控制進行手動、自動的操作控制。
操作前的準備工作
依次閉合真空控制單元、管道加熱單元、烘箱加熱單元、電磁鐵-燈控制單元等電控單元的供電斷路器及各系統的電源開關,保證各部分可以正常工作。
依次檢查壓縮空氣、N2氣、O2氣、H2氣等氣體的壓力及供給是否正常。保證各路氣體的正常供給狀態。
按下系統控制單元的電源開關,使真空系統上電處于工作狀態。按照時間控制器的使用說明書,對時間控制器根據工藝要求進行自動控制過程中時間參數的設定。
參照溫控表SR1的使用說明書,設置好真空系統管路加熱的溫度設定值。
根據工藝要求,設定好程控FP93溫控表的四個溫度段的溫度參數值。
根據工藝要求,參照真空計使用說明書,依次設定好 G1-1.2×10-1Torr、 G2-1.0×10-2Torr、G3-1.0×10-6Torr、G4-1.0×10-7Torr、 G5五個真空系統控制點的真空度設定參數值。
按下真空系統控制單元左下角的電源按鍵開關,開關燈點亮。系統上電工作。
工作方式分為手動和自動兩種方式:
手動工作方式...